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多晶硅生产中含氯硅烷废气、废液的燃烧处理工艺

2016年

应用技术

初期阶段

成果简介

　　本发明涉及一种多晶硅生产中含氯硅烷废气、废液的燃烧处理工艺。它将多晶硅生产过程中，排出含有氯硅烷的废气、废液，在燃烧炉内，用天然气作为燃料，在900-1000℃的高温和0.01-0.06公斤的压力条件下，将废气、废液中的氯硅烷高温水解，生成容易处理的SiO2、HCl和少量Cl2等物质。此工艺流程将有毒、难处理的氯硅烷，燃烧高温水解为容易处理的SiO2、HCl和少量Cl2等物质，可以克服水解碱吸...

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