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电阻变式纳米膜压力传感器

2002年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　电阻应变式纳米膜压力传感器是国家“十五”计划的重点支持的技术领域项目，是2002年国家火炬计划项目。
　　该产品是基于金属应变原理而制成，其敏感元件是金属元件是金属弹性体上的多层纳米膜结构。弹性体采用金属处理的金属圆形平膜片，在精密抛光的膜片上制作纳米固体Ta205薄膜离层，然后，在其上再制作纳米量能的Ni-Cr薄膜功能材料，通过微细加工技术构成惠斯登电桥，电桥电阻用纳米Si02膜...
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