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一种贵金属靶材的修复方法

2016年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
　　本发明公开了一种贵金属靶材的修复方法，其方法为：将实施溅射后形成具有溅射损耗区的贵金属靶材进行碱洗除油，清水冲洗，无水乙醇脱水，用上部保护罩和底部保护罩对所述贵金属靶材实施惰性气体氩气保护，用氩弧焊枪的钨极使与靶材材质相同的丝材和靶材的局部熔化，并堆积在所述损耗区内，这样反复进行堆积，使所述损耗区逐渐堆平，最终成为堆积态。本发明方法易操作，过程简单，无污染，成本低；修复过程中贵金属材料几乎不损...
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