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一种采用掺磷酸锌的靶材生长P型氧化锌薄膜的方法

2016年

应用技术

中期阶段

成果简介

　　本发明公开了一种利用磷酸锌掺杂氧化锌（磷酸锌原子百分比0.5％）的高温烧结（1000℃～1200℃）的陶瓷靶材，使用等离子辅助激光分子束外延设备，高真空条件下（本底真空度为10～7Pa，生长氧气氛分压为10～3Pa，射频功率300W～450W），采用两步法外延生长磷掺杂P型氧化锌的新工艺：首先，生长Mg0.1Zn0.9O双缓冲层（低温400℃和高温600℃）；然后再在缓冲层上外延生长磷掺杂氧化...

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