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碳纳米管场致发射器件致密材料薄层浆料及结构制作方法

2016年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
　　本发明涉及碳纳米管场致发射器件致密材料薄层浆料及碳纳米管场致发射器件结构的制作方法，其特征在于：该致密材料薄层浆料由下述重量百分比的原料配制而成：溶剂6％～15％；树脂18％～25％；光敏单体1％～5％；光引发剂5％～15％；无机原料40％～70％。其碳纳米管场致发射器件结构制作方法是：在玻璃衬底上覆盖栅极电极层；设绝缘绝缘介质层，再覆盖阴极电极层，采用阴极电极层做掩膜，对介质刻蚀得到孔洞结构...
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