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一种横向高压DMOS器件

2016年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
  一种横向高压DMOS器件,属于半导体功率器件技术领域。本发明通过提高第一导电类型半导体降场层3的浓度,减小第一导电类型半导体降场层3在器件宽度方向上的面积,在降场层3之间提供了额外的第二导电类型半导体电流通道16,增加了电流流动路径的面积,同时也提供了相对较短的导电路径,并且可以增加第二导电类型半导体漂移区16的浓度,极大地降低了器件导通电阻。与常规具有降场层的横向高压DMOS器件相比,本发明...
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