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亚微米尺度颗粒/薄膜能谱成分定量分析方法研究

2016年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
　　1、课题来源与背景
　　“亚微米尺度颗粒/薄膜能谱成分定量分析方法研究”是上海市计量测试技术研究院承担的上海市质量技术监督局科研项目（2014-02），项目起止时间2014年07月~2016年06月。
　　2、 技术原理及性能指标
　　能谱仪在常规分析条件下的最小分析范围为微米尺度。降低加速电压可以有效控制入射电子在样品中扩散范围，当加速电压为几千伏时，入射...
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