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功能复合薄膜材料的评价方法研究及其标准的建立

2016年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
　　由上海市计量测试技术研究院承担的，上海市科委标准化专项项目《功能复合薄膜材料的评价方法研究及其标准的建立》，目前已完成了项目任务书中的各项研究内容。本项目通过对金属氧化物薄膜开展薄膜厚度及组分的测定，利用辉光放电发射光谱，建立了一种有效表征金属氧化物薄膜厚度及组分的测量评价方法，完成了国家标准《表面化学分析 辉光放电发射光谱 金属氧化物膜的分析》（报批稿）以及相关附件的起草工作。所起草的辉...
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