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环形抛光机蜡盘面形在线实时测量装置

2016年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　一种环形抛光机蜡盘面形在线实时测量装置，构成包括液压升降平台系统、反射镜系统、扩束镜系统和主干涉系统。本发明用于测量环形抛光机蜡盘面形，具有装置集成化、测量方便、测量快速、准确和在线实时测量的特点。目前，传统的环抛技术是世界上广泛采用的并且几乎是唯一的大口径全局平面化技术。大尺寸精密环形抛光机是实现高精度平面加工最有效可行的解决方案，加工的光学元件面形平滑，无高频残差，而且加工产品在表面质量和...
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