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多自由度调整机构

2016年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
  一种多自由度调整机构,自下而上包括固定基座组件、X方向调整组件、Y方向调整组件、连接板和3个调整螺钉组件,在连接板上3个调整螺钉组件呈三角形分布。本发明可实现多个自由度的定位调整,定位精度高,并且操作方便,调整范围大;结构简单,对零件的加工精度要求不高,可有效降低加工成本。本发明涉及一种多自由度调整机构,适用于精密机械加工以及装配,尤其是光刻机等光学精密仪器与设备的装配集成。...
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