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光栅位移传感器

2002年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
本实用新型涉及一种传感器，尤其涉及一种测量和计量仪器使用的光栅位移传感器。
位移传感器用的长度基准一般分为：利用激光波长作相干光构成激光位移传感器；利用玻璃或金属材料作载体以每mm刻划或复制相等整数分割的栅线构成标尺光栅和指示光栅二者层迭在一起组成光栅付，相互间保持一定间隙和角度，二者发生相对直线位移时，就产生莫尔条纹构成的光栅位移传感器；还有利用感应同步器、容栅、磁栅...
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