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Mn-Co-Ni基多元复合氧化物负温度系数热敏电阻陶瓷膜的双辉等离子技术制备

2016年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
　　采用双层辉光等离子渗金属和等离子氧渗技术进行多元金属共沉积及氧化，制备薄膜厚度为10 μm、表面平整度小于1 μm的多元金属氧化物陶瓷薄膜。调整双辉过程中的沉积电压、腔体气氛、沉积温度、后氧化工艺等工艺参数完成对NTC热敏电阻薄膜物相及形貌的调控，最终使所得热敏电阻陶瓷薄膜中各元素分布均一，表面平整且无气孔、无微裂纹。...
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