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传输镜表面灰尘在线观察和去除装置及其实施方法

2016年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　一种用于高功率激光装置中的传输镜表面灰尘在线观察和去除装置及其实施方法，该装置包括吹扫系统、照明系统、集尘系统和三套相同的支撑定位系统。本发明具有构思巧妙，简单易行，能实时、在线检查和去除传输镜表面灰尘，观测精度高；去除效率高，避免了传输镜表面的二次污染和对其他光学元器件的污染。适用于任意角度摆放的传输镜。...
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