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稀土基栅介质薄膜材料的设计、结构失稳调控及器件性能优化

2016年 基础理论
  • 成果简介
　　I： 课题来源：
　　973计划、纳米材料与纳米结构01子课题： 纳米结构组装体系的设计与合成（G1999064501）； 国家自然科学基金：
　　（1）“应用于下一代场效应晶体管栅极材料的探索-Al、N共掺的铪基超薄膜的制备和物性研究”，编号：10804109；
　　（2）“纳米场效应晶体管栅极材料的探索-Al、N共掺杂Y2O3超薄膜的制备和物性研究”，...
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