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年产10吨高纯氨纯化技术和规模化生产技术

2002年

应用技术

中期阶段

成果简介

高纯氨主要应用于新型光电子材料领域，是MOCVD技术制备GAN的重要基础材料。由GAN生产高灵敏度蓝光发光二极管和蓝光激光器，以及其它相关电子器件，是国内外都在抢占的产业。高纯氨还是制备三氟化氮、氮化硅、的基础材料，是生产超高级氮的原料气。此外，由超纯水吸收高纯氮制得的超净高纯氨水，是碱性清洗腐蚀剂，广泛用于超大规模集成电路工艺生产。
因此，根据市场和用户的需求，本公司...

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