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一种多结构耦合磁场适应型旋转弧离子镀装置

2016年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　本发明涉及薄膜与涂层制备技术领域，具体地说是一种多结构耦合磁场适应型旋转弧离子镀装置，解决现有技术中大颗粒、靶材刻蚀与涂层均匀性差、沉积效率低等问题。该旋转弧离子镀装置采用特种多功能多结构适应型离子镀枪配合结构优化的水冷法兰套作为整体弧源结构，离子镀枪的靶材底座后设有轴向辅助磁场装置，法兰套的外侧设有二极旋转横向磁场发生装置、聚焦导引磁场装置。通过三套磁场装置的耦合作用形成二极旋转横向磁场为主...
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