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一种植入式MEMS生物电极及其制备工艺

2016年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
　　一种植入式MEMS生物电极，包括一基底(1)，在基底(1)上沉积有绝缘层(8)、成形的刺激电极(3)和记录电极(4)以及防渗透绝缘层(2)，其特征在于，所述的刺激电极(3)、记录电极(4)分别由基底(1)上设置的电极电路(11)和在基底(1)一端形成的多个凹槽(7)构成的电极引出端(5)连接，电极引出端(5)上覆盖有金属层(10)，刺激电极(3)和记录电极(4)以及电极电路引出端(5)外的所有...
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