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微振动自适应控制技术与实现

2016年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
微扰动和微振动由于其扰动和振动强度、振动幅度介于微纳米量级，对于一般精密工程领域的影响可以被忽略，而对于超精密工程，特别是在卫星远程探测，精密测量工程，微纳米尺度或微纳米精度器件的加工或测试领域，由于其量级与微纳定位、微纳米尺/精度器件的加工或检测工作参量等级相当，因此对于超精密观测、超精密加工，微机电、微纳米器件制造以及微纳检测和操纵等会造成严重影响。
本申报技术研制...
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