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高产能智能MOCVD设备的研制及产业化

2016年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

（1）课题来源与背景
本课题为广东省科技厅战略性新兴产业LED专项项目，项目编号：2011A081301007。本项目的研制对打破国外MOCVD设备垄断，提高LED产业发展自主性具有重要的战略意义。
（2）技术原理与性能指标
项目完成能一次至少进行72片2英寸的衬底外延生长的高产能智能MOCVD设备研制检测结果显示，本项目昭信高产能智能MOCVD设备...

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