电子级氟甲烷，用于半导体蚀刻剂，对硅化物薄膜的蚀刻选择性好，由于氟甲烷的全球变暖潜能值(GWP) 极低，加上臭氧损耗潜值ODS为0，是为数不多的符合欧盟使用标准(GWP100<150)的饱和氢氟烃，被国际大公司筛选为低温热泵的理想工质。随着2016年10月15日基加利协议的签订和实施，包括HFC-41在内的GWP100<150的氢氟烃将会受到越来越多的研究和应用，其市场前景良好。
长期来电子级氟甲烷气体生产技术基本上掌握在国际气体巨头手中，如APCI、法液空公司、BOC公司、普莱克斯、日本酸素公司、日商岩谷气体公司等已占领我国绝大部分特气市场。国内德尔、巨化、宇极、派瑞、金宏和华特等氟化工企业已开始先后量产，但采用的技术和产品纯度差异较大。
项目针对国内外规模化生产氟甲烷存在转化率和收率低，纯度难以突破99.999%等技术问题，开展以甲醇为原料的气相催化氟化法工艺、特殊复合氟化催化剂、合成反应釜、气相催化氟化合成反应条件优化和三塔精馏纯化等关键技术研究，集成关键技术形成年产200吨纯度大等于5.5N电子级氟甲烷生产线。主要技术创新成果如下：
1.自主创新设计开发了以甲醇为原料，在特殊复合氟化催化剂作用下，与氟化氢进行气相氟化反应制备氟甲烷工艺技术。
2.发明了特殊复合氟化催化剂，通过复合活性物质MnO2 和CrCl3 等体积浸渍负载在活性炭和AlF3 的混合物上，用于甲醇气相氟化反应，反应出口二甲醚和甲醇可实现重复利用，氟甲烷单程收率超过90%。
3.自主设计了与甲醇气相催化氟化合成法配套的反应釜，通过结构优化和材料选型，实现耐腐蚀和全自动测温、测压、加热和催化剂预热活化功能。
4.发明了三塔精馏纯化技术，通过增设共沸塔（第三塔）去除沸点和氟甲烷接近的六氟乙烷等杂质，使氟甲烷纯度提高到99.9995%以上。
项目获国家授权发明专利3件，受理发明专利1件，授权实用新型专利11件。制定发布了《电子工业用气体 氟甲烷》企业标准（Q/FJDR 006-2021）。经权威专家组评价，该成果整体技术居于国际领先水平，产品供应市场产生了显著的社会和经济效益。

1.福建省杭氟电子材料有限公司  

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