氟气化学性质十分活泼，具有很强的氧化性和强腐蚀性，按相关法规规定，氟气不能纯单质充装、运输和使用，必须混入惰性气体形成氟氮（惰）混合气充装以降低风险后才能运输和使用，以确保安全。氟氮混合气被广泛应用于原子能工业、半导体CVD腔室的清洗、氟化石墨、多种氟化物、医药中间体，极具市场前景。
我国现有电解制氟装备技术多以3000-5000安培为主，国际上电解装备为8000安培。目前氟气及氟氮混合配气制备存在：一是电解槽结构不合理，电解过程极易极化，运行和控制难度大；二是氟气纯度和产量低；三是电解槽液位和电解质酸度控制难度大；四是氟氮采用管道或混合罐静态直接混合，不仅存在安全隐患，而且混合效率低。
针对高纯氟气制备及氟氮混合配气存在的技术局限，项目组攻克了新型中温大电流现场制氟电解槽、碳阳极材料、电解槽液位及电解质酸度自适应控制、关键杂质HF和CF4去除，氟氮在线自动混合配气等关键技术，建立了大电流高纯氟气及氟氮混合气生产线，主要创新成果如下：
1.发明了新型中温大电流制氟电解槽，采用小盖板带倒U型的隔膜组取代传统的整体隔膜，槽体外设置降温管路取代槽体内换热管，阳极碳板表面镀镍处理和碳纤维夹板取代铜夹板等创新技术，解决了分解产物难以安全收集、槽体容易被腐蚀和漏水的难题，实现制氟电流高达10000A，为高纯氟气工业规模生产奠定了坚实的技术基础。
2.针对HF和CF4等有害组分，自主设计开发了氟气纯化新工艺，采用三层汉堡式一级高效冷凝器、二级低温深冷凝器、纯金属密封，结合多级吸附和过滤工艺，实现氟气纯度高于99.95%，其中关键杂质HF降低至≦0.02%，杂质CF4含量降低到≦0.005%。
3.发明了氟氮在线自动混合配气装置及系统，通过氟气安全供给装置、混合配气装置、缓冲罐体及自动控制系统，实现氮气和氟气在线采集计量、混合配气、纯度分析、数据显示、存储和生成曲线图等功能。
项目获国家授权发明专利3件，受理发明专利4件，授权新型专利10件，计算机软著6件。制定发布了《高纯氟及氟氮混合气》企业标准（Q/FJDR·008-2022）。经权威专家组评价，该成果整体技术居于国际先进水平，所研制生产的高纯氟气及氟氮混合气推向了市场，得到用户高度肯定，取得了显著的社会和经济效益。

1.林百志  2.刘志强  3.张朝春  4.张 奎  5.曹素英  6.华 辉  7.周文平  8.邱 玲  9.赖甜华  10.赖金香  11.王凤侠  12.傅钟盛  13.李卫国  14.胡进军