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无掩模激光混合图形化直写光刻关键技术及应用

2015年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

1、主要技术内容：
本项目是微纳制造方法、技术和装备的原始创新。学科：电子、通信与自动控制技术。
微纳图形化直写技术是从设计数据到原始微纳结构获得（Data->Structure）的必要手段，当前我国微纳装备依赖进口，性能和数量不足，尤其是“器件级”设备更是如此，这对我国先进材料与核心器件自主研究和产业应用产生了极大制约。
本项目...

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