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砷化镓单晶生长用石英管及石英器件制备技术

2015年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
本项目根据砷化镓晶体材料产业发展的需要，为了抢占石英器件材料产业的高端市场，利用自身技术，前瞻性地开展砷化镓晶体生长用石英器件与石英管的研制项目。项目的研发工作主要涉及设备的设计改造、石英管拉管工艺的探索及石英器件工艺的自动化程控工艺研发。
项目的主要技术路线包括：
1、研发了微量元素掺杂技术及连熔脱羟工艺，开发了砷化镓晶体生长用石英器件及石英管新产...
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