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光刻环形照明模式产生装置

2015年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一种用于投影光刻机的光刻环形照明模式产生装置，包括激光源，沿该激光源输出光束方向依次是第一透镜、第二透镜、锥形光束产生器件、平凸锥透镜，所述的平凸锥透镜固定在直线位移台上，该直线位移台带动所述的平凸锥透镜沿激光源输出光束方向直线运动。本发明大大简化了的投影光刻照明系统的结构。本发明旨在解决上述现有技术的问题，提供一种用于投影光刻机的环形照明模式产生装置。该装置大大简化了的投影光刻照明系统的...
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