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cz法单晶生长中的智能控制技术研究

2015年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
西安理工大学建立的晶体声场设备及系统集成国家联合工程研究中心和陕西省晶体生产设备工程技术研究中心依靠政府支持，采取开放式的技术服务，面向单晶炉行业进行技术服务和产品推广，因此本项目未来可为国内的企业提供技术服务，项目完成的相关成果的转化前景广阔。对于加快集成电路硅材料本地化批量供应发挥极其重要的作用，同时也必将为我国集成电路制造技术持续发展提供有力支撑。为实现极大规模集成电路制造装备的国产...
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