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小间隙平面间相对转动测量和旋转定位系统及方法

2015年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
本发明公开了一种用于两平面间相对微小转动的高精度测量辨向和旋转定位系统与方法。两平面上设置两个光栅，构成两组测量光栅副，当两平面间相对旋转的量为零时，所有光栅的栅线方向相同。两组测量光栅副中光栅尺寸的大小关系相反，但周期比相同。测量系统采集到的条纹个数不少于40个。本发明的测量辨向和旋转定位方法，包括采用水平-垂直方向和两对角线方向上获取条纹倾斜角度的大小，获得条纹倾斜角度的方向；当两组干...
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