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一种利用光栅检测技术进行加速度测量的装置和方法

2015年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
本发明公开了一种利用光栅检测技术进行加速度测量的新装置和新方法，属于传感检测领域。装置通过质量块1敏感加速度；质量块1的一端通过弹性梁7连接在锚点4上，另一端连接可动栅条2；可动栅条2与固定栅条5构成一个光栅副。工作时，入射光6照射到光栅副上，其出射光束3被分成不同的衍射级。在加速度作用下，质量块1带动可动栅条2产生一定位移x，从而改变可动栅条2与固定栅条5之间的相对位置，导致出射光束3中...
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