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一种全柔性MEMS光开关

2015年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
一种全柔性MEMS光开关，其特征是：包括柔性双稳态机构(1)和微反射镜(3)，柔性双稳态机构(1)的梭(5)连接有柔性桥(2)，微反射镜(3)通过连接块(8)与柔性桥(2)固定，柔性双稳态机构(1)的第一稳态位置与第二稳态位置分别使微反射镜(3)处在光通过和光反射两种状态；所述的柔性桥(2)由两段近底柔性梁(6)和一段远底柔性梁(7)构成，远底柔性梁(7)两端通过连接块(8)与两段近底柔性...
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