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非接触式模板约束下的电场诱导微复型方法

2015年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
本发明属于微纳制造技术领域，具体涉及一种在电场的诱导下的微复型方法。包括如下步骤：
1)模板的制备：在SiO2基材上沉积导电纳米铟锡金属氧化物ITO玻璃制备图形化模板；
2)在SiO2基材表面蒸镀导电纳米铟锡金属氧化物ITO玻璃；
3)在SiO2基材表面涂铺阻蚀胶；
4)将制备好的模板压在阻蚀胶层上；
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