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一种光学表面亚表层损伤测量装置的测量方法

2017年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
　　本发明涉及一种光学表面亚表层损伤测量装置和测量方法。现有的大型光学系统或超精密元件表面加工中，光学表面亚表层损伤的测量对元器件表面是破坏性的，且局限性极大。本发明包括激光光源，准直扩束镜和分光镜，准直扩束镜中设置有发射端滤波针孔；在分光镜的透射侧光路上设置有接收端聚光镜和针孔光电探测器，在分光镜的反射侧光路上设置有X、Y二维电控平面扫描振镜、测量显微物镜和Z向压电微位移扫描平台；针孔光电探测器...
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