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双频磁响应负磁导率金属复合结构材料及其制作方法

2015年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
双频磁响应负磁导率金属复合结构材料由第一金属复合结构组或第二金属复合结构组在基底上按周期Ｔ排列或多组交错排列构成，金属复合结构组包含Ｌ形悬臂、金属条、支撑臂、空气层或介质层；双频磁响应负磁导率金属复合结构材料的制作方法包括以下步骤：
（１）用微细加工工艺技术制作出金属条；
（２）用台阶阴影法进行定向蒸发，制作出牺牲层或介质层；
（...
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