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先进的环境传感技术与传感器

2004年 基础理论
  • 成果简介
半导体气体传感器是指将半导体材料加上电极和加热电阻制备而成的气敏元件。由于环境气体成分的变化引起半导体气体传感器的电性能改变，通过测量半导体气体传感器的电阻而检测环境中存在的气体的种类和浓度。
本成果采用辐照合成、溶胶凝胶技术、喷射共沉淀法等多种技术，制备了多种气体薄膜传感器，同时采用原子力探针刻蚀技术，制备了纳米气体传感器件和生物传感器件，用于检测二氧化碳、氮氧化物、...
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