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电子束快速成型设备特征点数据采集装置及方法

2017年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
　　电子束快速成型设备中3D元件制造过程z轴由机械运动完成，x-y平面由偏扫装置完成，偏扫装置的工作机理与机械运动有根本的区别，偏扫装置依靠磁场的作用来操纵电子束的运动轨迹。由于磁场作用的工作机理以及制造工艺的影响，磁场的磁感应强度与其励磁电流之间呈非线性关系，且聚集与偏扫之间也存在交叉影响，因此电子束快速成型设备中3D元件制造过程的控制较一般的机械加工3D元件的控制更为复杂。为了实现电子束的精确...
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