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一种低热导的太赫兹探测单元微桥结构及其制备方法

2017年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　本发明公开了一种低热导的太赫兹探测单元微桥结构，该微桥结构包括桥墩、桥腿、桥面。桥墩连接底层读出电路与桥腿，桥腿呈悬空结构并连接桥墩与探测桥面，桥面由两只桥腿支撑形成悬空结构。桥面实现外部太赫兹辐射能量到桥面温升到电学信号的转变，该电学信号通过桥腿和桥墩传递给底层读出电路，实现太赫兹辐射的探测。本发明采用的桥腿呈细长的“弓”型形状，桥腿盘曲的平面与水平的桥面间夹角在30°-70°之间，倾斜的桥...
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