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正性光敏聚酰亚胺光刻胶用中性显影液

2017年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　正性光敏聚酰亚胺光刻胶用中性显影液，属于材料技术领域，涉及光刻工艺，尤其是光刻工艺中的显影技术。本发明提供的正性光敏聚酰亚胺光刻胶用中性显影液，其组分包括30.0～60.0wt%的水溶性酰胺类化合物、1.0～10.0wt%的水溶性醇或醇醚类化合物、0.01～3.0wt%的非离子表面活性剂和剩余量的水，其pH值在6.5～7.5之间。采用本发明，正性光敏聚酰亚胺光刻胶的曝光区域与非曝光区域在其中的...
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