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一种红外-太赫兹双波段阵列探测器微桥结构及其制备方法

2017年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　本发明公开了一种红外-太赫兹双波段阵列探测器微桥结构及其制备方法，用于红外与太赫兹波段的探测与成像。所述微桥结构的顶层为双层氧化钒薄膜，下层氧化钒薄膜为具有高电阻温度系数（TCR）的无相变氧化钒薄膜，用作红外与太赫兹波段的敏感层，上层氧化钒薄膜具有较低的相变温度，可发生半导体相-金属相的可逆相变，半导体相时与下层氧化钒薄膜一起用作红外吸收层，相变为金属相后用作太赫兹辐射吸收层。利用微桥结构的谐...
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