首页成果登记
注册 找回密码
国家科技成果网
  		•
热门搜索：  激光   高分子   石油   并网   纳米   太阳能光伏
扫描二维码关注国科网

登记 排行 政策 对接 转化 专栏
国家科技成果网 › 首页 ›成果 › 查看内容

化合物半导体产品制造过程中的工艺验证方法

2017年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　本发明提供了一种化合物半导体产品制造过程中的工艺验证方法，该方法中，先确定关键工序及关键工序的制程参数，再在关键工序上实时采集预设批次在制品的第一制程参数，如果根据第一制程参数判定工艺水平不达标，则控制生产机台停机，工程师进行工艺调整后生产机台继续生产，然后再次在关键工序上实时采集预设批次在制品的第二制程参数，最后对第一制程参数和第二制程参数进行显著性水平为0.05的t检验得到t检验统计量，如...
相关成果

标签云

相关机构

关于国科网   我们的资源   我们的服务   免责声明   常见问题    软件下载    成果登记   联系我们  
Copyright 2001-2020 All Rights Reserved© 国科网 版权所有
国家科技成果信息服务平台 主管单位：科学技术部火炬高技术产业开发中心
京ICP备09035943号-33 京公网安备110401400097
在线客服系统