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特种硼硅玻璃表面磁控溅射镀膜关键技术开发及产业化

2017年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　1、项目名称：特种硼硅玻璃表面磁控溅射镀膜关键技术开发及产业化
　　2、项目期限：2013年 4月 至 2015年 6月
　　3、项目立项编号：2013B10007
　　4、项目基本情况：
　　（一）项目合同书确定的研究内容
　　本项目主要开发特种硼硅玻璃表面真空沉积耐高温薄膜的设备和工艺。项目开发中主要的关键技术为：
　...
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