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WGM体系硅基光磁式生物传感器实现无标单分子检测

2017年

基础理论

成果简介

　　项目基于MEMS工艺，研究获得高Q、小模式体积微盘腔的设计方法以及工艺技术，利用实验室微纳加工平台，完成了微盘腔的制备，具有较好的一致性和可重复性；经过工艺的优化提高了微盘表面的光洁度，AFM测得表面粗糙度为1.7 nm；实现了损耗在0.2 dB以下锥形光纤的制作；通过实验得到微球谐振腔的Q值9.68×106，搭建的光学微腔传感平台可用于高灵敏度生物分子检测。
　　发表相关SCI论...

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