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一种提高平面面形子孔径拼接检测精度的方法

2017年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
  一种提高平面面形子孔径拼接检测精度的方法,首先对待测平面光学元件进行子孔径拼接干涉测量,得到子孔径面形数据,直接拼接得到全口径面形;其次过参考镜中心对全口径面形横向采样,计算得到拼接累积误差,然后根据本发明提出的方法计算参考镜离焦;最后在子孔径测量结果中去除计算得到的离焦面形,再拼接得到去离焦后的全口径面形。本发明能够准确标定参考镜离焦,消除累积误差,提高拼接精度,并且不需要增加额外的辅助部件...
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