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自适应共光路光栅干涉仪及其实现方法

2017年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　一种自适应共光路光栅干涉仪，包括：相对运动的光栅尺、角锥棱镜、反射镜、透反镜、位敏探测器、偏振分束器、线偏振光源、用于驱动上述镜子的PZT微位移驱动器、数据采集和处理及控制单元、偏振相移干涉光电探测单元或双频外差干涉光电探测单元。本发明采用基于衍射光点位置反馈控制角锥棱镜或反射镜的自适应方法，来保证动态光栅干涉仪的完全共光路特性，从而消除光栅尺体相对运动误差的光路影响，进而获得高精度和分辨率。...
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