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天加ISO 1级超净环境集成系统

2015年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
采用大系统小规模方式，将芯片厂、液晶显示厂等高端洁净厂房进行”微缩“，实现中国制造。将科研、教学、工程技术验证、环境危害直观评估集成于一个技术平台，首创超净空气环境集成系统。超净环境核心区洁净度达到国际标准最高级别 ISO 1级，填补国家相关领域技术空白。
核心区空气环境参数：
温度：23±0.3℃，相对湿度：50±5%；
洁净度...
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