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薄膜无源集成关键技术及应用

2017年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　随着有源器件集成度愈来愈高，分立的无源电子元件已经成为制约整机进一步向小型化、集成化发展的瓶颈。因此，集成无源器件(IPD)技术的发展必将成为电子系统发展的一个新的技术制高点和产业生长点，其重大意义和深远影响足以和半导体集成电路的发展相提并论。薄膜无源集成也被国际半导体技术路线图（ITRS）列为超越摩尔定律的发展方向。
　　本项目在国家自然基金、产学研重大专项等的支持下，围绕功能薄...
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