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共路随机移相干涉成像测量方法与技术

2017年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
　　干涉成像技术由于具有全场定量、非接触、无需对样品做特殊处理等独特优点，已作为极其重要的测试分析手段被广泛应用于工程物理、微纳制造、生物医学、物理化学、材料科学、半导体测试和精密测量等领域。如何克服现有干涉成像技术的原理性不足，进一步提高抗干扰能力基础上，兼顾其分辨能力、测量效率的研究是目前国内外干涉成像测试领域研究的前沿性热点问题，也为我国研究和发展此类高端技术提供了机遇。本项目旨在深入研究解...
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