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过滤阴极电弧放电真空镀膜技术及设备制造

2017年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
　　电弧放电真空涂层技术，指在真空条件下，采用低电压、大电流的电弧放电使靶材蒸发并发生电离，然后被蒸发物质沉积在工件上，由此形成真空涂层。使用这种技术获得的涂层具有高硬度、低摩擦系数、很好的耐磨性和化学稳定性等特点，被广泛地应用在硬质合金钻头，刀具和丝锥等等方面。但这种涂层工艺过程中，不仅会产生出离子和电子，同时产生出大量的熔化冷却形成的颗粒，这些颗粒如果沉积在工件表面时不能和基体表面形成良好的结...
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