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面向电子行业的紫外激光标识系统开发及应用研究

2017年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
  本项目主要针对电子制造业小型化,高度集成化,多功能化而导致的对材料进行高精度、高效率、高质量的激光加工工艺的应用需求,采用近年来迅速发展起来的全固态紫外激光器,结合精密光学偏转、机器视觉、自动化智能控制等技术,采用“冷加工”方式,减少和消除热对加工区域周围的损伤,对硬脆性材料(比如陶瓷、玻璃)和热敏感材料(比如半导体材料Si,薄膜非金属材料)以及红外和可见激光难以加工的材料进行高精密加工,可获...
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