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大型高效多晶硅还原炉

2017年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　我公司自主研发的大型高效多晶硅还原炉创新采用国际领先的化学沉积反应、流场模拟、热量传递、高压启动技术等技术，大幅提高装备的稳定性和转化效率，设计出具有专有技术的硅棒分布形式，实现高效节能。本产品主要用于高效、节能、大规模生产多晶硅设备。本项目的主要研发内容有：提高反应的稳定性和转化效率、反应过程中温度趋于均匀、先进的高压启动还原炉、简化了还原炉底盘的进料管和尾气管。通过本项目来实现大型多晶硅还...
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