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等离子体多频电容耦合放电研究

2017年 基础理论
  • 成果简介
　　目前在国外等离子体多频电容耦合放电及大气压介质阻挡放电仍然是相当热门，2005年～2006年我参加了美国加州大学伯克利分校由M. A. Liebermen 教授领导的研究组，参与对双频电容耦合放电及材料刻蚀项目的研究，取得了一些研究进展和成果，但是两年前我们对于多频电容耦合放电中的离子在鞘层能量分布、及大气压介质阻挡放电的特性仍然不是十分清楚，还没有找到对应的理论模型去解释能量分布函数、大气压...
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