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ProMaxy 金属有机化学气相沉积（MOCVD）设备

2015年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

为了贯彻落实《国务院关于加快培育和发展战略性新兴产业的决定》（国发【2010】32号）、《关于本市加快培育和发展战略性新兴产业的实施意见》（沪委发【2010】2号），上海市政府安排战略性新兴产业发展专项资金，支持战略性新兴产业重点项目。中晟光电承担了《LED MOCVD设备、技术及工艺开发和产业化》项目，并按期完成了项目规定的各项任务和考核指标，于2015年11月通过了项目验收。

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