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基于半浮栅晶体管（SFGT）的高速DRAM存储器开发

2015年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
本成果涉及一种自对准的垂直式非挥发性半导体存储器件以及一种应用这种器件的无接触式存储器阵列结构，以及由该器件组成的阵列的制造方法。
半导体存储器被广泛应用于诸如工业控制、消费电子等各种领域中，这些存储芯片的基本要求是高集成密度、低功耗以及高速度。一般有两种途径来在相同的芯片面积下提高存储器的存储能力，第一种是按比例缩小存储单元的特征尺寸；另一种就是优化器件结构或者采用新...
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